荷兰光刻机最小多少纳米？荷兰光刻机为什么厉害？-- 迪族网

荷兰光刻机最小多少纳米？荷兰光刻机为什么厉害？

来源：中穆青年网　2022-10-24 15:58:36

荷兰光刻机最小多少纳米?

世界光刻机目前根据不同工艺可以分别做到 14 nm 和 5nm以下。

目前最高端的EUⅤ光刻机波长13.5nm，曝光精度14nm，釆用平面工艺，也就是14nm，釆用finfet工艺可达5nm以下。

荷兰ASML公司是全球最大的光刻机制造商，也是全球唯一可以提供EUV光刻机的厂商，在全球高端光刻机市场处于垄断地位。

荷兰光刻机为什么厉害?

1、强大的研发投入;

2、美国以及欧盟的支持;

3、准确的抓住了技术转折点;

4、合理的技术分工与合作;

5、对细分技术领域企业的控制。

光刻机是一个高精尖的技术，其技术难度是全球公认的，如果没有持续强大的研发投入根本不可能到技术领先。ASML从成立至今，对于研发的投入都非常大，比如2019年ASML的销售额大概是21亿欧元，而研发费用支出就达到了4.8亿欧元，研发费用占营收的比例达到22.8%，这个比例是非常高的，正因为有大量资金的投入，所以ASML在关键技术领域一直处于领先地位。

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